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铜陵仪器送检单

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time:2019-09-02 08:00:33

3)微位移部件是标定装置不可缺少的组成部分,其工作原理如图1-5所示。它是可动镜产生位移的驱动机构,可动镜1图1-3中的6)安装在片簧导轨2上,镜框后面安装了被检传感器5图1-3中的刀和电致伸缩器4,当用连续可调直流电源给其施加电压时,即可使可动镜产生位移,同时在干涉仪和被检传感器上可把位移量显示出来,实现标定的目1—可动锥棱镜片簧导轨3-电致伸缩器;4一可调直流电源;5一被检传感器图1-5微位移部件原理图用该仪器进行检测时,首先将仪器调整到正常工作状态,将被检传感器安装在被检定系统中(图1-3中7的位置),调整连续可调直流电源给电致伸缩器施加电压,可动镜产生位移,通过调整主机上检偏器的位置,寻找偏振面的旋转角度,由可逆记数器(图1-3中8)显示可动位移量,与此同时被检传感器也检测出了可动镜的位移量,两者之间的最大差值即为标定的示值误差。

上还分析可以看出,采用这种方法对精密测微仪进行标定时,具有许多优点:①直接采用激光6328埃光波作基准与被测量进行比较,消了传动链长、接触刚性差等传递误差,大大提高了标定的准确度:②基准测微仪利用偏振光干涉法,因而可以利用测角仪测量偏振面的旋转角得到干涉条纹的小数,使其分辨力大大提高:③利用该标定装置还可以对同等准确度的其它传感器以及压电陶瓷微位移驱动器的非线性等进行检定,如果对工作台和导轨稍加改进,还可以扩大其应用范围,充分发挥其作用。

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